导热油泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得最小时，即与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间;当工作室的容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开。泵腔内容积不断膨胀与压缩，完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因此，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。