（1）主泵。在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵。

（2）粗抽泵。从大气压开始，降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵。

（3）前级泵。用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用 。

（4）维持泵。在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效的利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助级前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。

（5）粗（低）真空泵。从大气压开始，降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵。

（6）高真空泵。在高真空范围内工作的真空泵。

（7）超高真空泵。在超高真空范围内工作的真空泵。

（8）增压泵。装于高真空泵和低真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围内的抽气量或降低前级泵容量要求的真空泵（如机械增压泵和油增压泵等)。