分子真空泵选型须知

       牵引分子泵与涡轮分子泵合理搭配后，可以在同一泵体内组成复合分子泵，其抽气压力范围比较宽。

       涡轮分子泵必须配备前级泵使用，启动时需要有变频电源。启动时间选择分子泵的一个重要参数，启动时间是指从接通电源到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。涡轮分子泵的压缩比是指通过泵入口的气流量为零，被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上，泵的前级压力与进气口压力之比。极限压力是指泵在规定的工作条件下，不向测试罩引入气体，泵壳和测试罩经48h烘烤后，在测试罩规定位置测得的平衡压力。

       选泵时还应该注意泵的使用条件。涡轮分子泵正常工作的温度为4~40摄氏度；空气相对湿度<80%；冷却水进水温度不超过25摄氏度；泵应该避免抽除带粉尘，腐蚀性或爆炸性气体；泵在正常运转时不允许直接进入大气，否则会造成叶片损坏。为了除气，需对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤，泵体及泵壳上法兰烘烤温度为120摄氏度，测试罩或真空容器300摄氏度，真空规管400摄氏度。