特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
特殊表面处理
• 主要部件表面进行硬质氧化处理,提高耐腐蚀性,同时减少泵体内部损伤。
• 此特性可选,标准品表面不处理。
配置变频器缩短排气时间
• 配置变频器后与粗抽泵同时启动,与标准泵相比有效缩短排气时间。
• 此配件可选,标准泵不配置。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 分析仪器、密封装置。
• 真空热处理炉、溶解炉。
• 其他各种真空装置。
技术参数
外形尺寸
抽速曲线