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分子真空泵选型须知

发布日期:2018/11/29

分子真空泵选型须知

       牵引分子泵与涡轮分子泵合理搭配后,可以在同一泵体内组成复合分子泵,其抽气压力范围比较宽。

       涡轮分子泵必须配备前级泵使用,启动时需要有变频电源。启动时间选择分子泵的一个重要参数,启动时间是指从接通电源到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。涡轮分子泵的压缩比是指通过泵入口的气流量为零,被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上,泵的前级压力与进气口压力之比。极限压力是指泵在规定的工作条件下,不向测试罩引入气体,泵壳和测试罩经48h烘烤后,在测试罩规定位置测得的平衡压力。

       选泵时还应该注意泵的使用条件。涡轮分子泵正常工作的温度为4~40摄氏度;空气相对湿度<80%;冷却水进水温度不超过25摄氏度;泵应该避免抽除带粉尘,腐蚀性或爆炸性气体;泵在正常运转时不允许直接进入大气,否则会造成叶片损坏。为了除气,需对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤,泵体及泵壳上法兰烘烤温度为120摄氏度,测试罩或真空容器300摄氏度,真空规管400摄氏度。

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